二所牽頭承擔的國家重點研發計劃“超薄界面異質異構晶圓鍵合關鍵技術與裝備”重點項目正式啟動

  4月9日，由2所牽頭的國家重點研發計劃“超薄界面異質異構晶圓鍵合關鍵技術與裝備”項目啟動會暨項目實施方案論證會議在太原召開。國家科技部高技術研究發展中心研究員劉進長遠程指導會議，山西省科技廳智能處副處長索靜、2所副所長趙付超出席會議。

  會上，專家組聽取了項目組方案匯報，對實施方案進行了審查，認為項目研究目標明確、研究內容全面、課題設置合理、實施路線明確、研究保障條件有力，對高端裝備與先進制造領域國家質量基礎體系研究具有重要支撐作用。專家組還對項目實施方案編制、項目整體推進、項目成果提出了具體要求。
劉進長強調，項目研究與執行中要充分結合工業制造領域智能化發展的實踐需求，爭取“十四五”時期能夠形成體系化、標志性的創新研究成果，并對項目組及承擔單位提出要求，希望各單位提高站位，強化法人責任制，項目組做好實施方案，優化項目管理。
  趙付超對參會專家及用戶代表的支持表示感謝，指出該項目針對通信、新能源等領域對新一代半導體器件迫切需求，旨在突破集成電路核心高端裝備上面臨的技術難、成本高等“卡脖子”問題，2所作為牽頭單位，將嚴格按照相關規定切實履行責任，加強項目管理，全力保障項目順利實施。
  中國電科2所、13所、55所、清華大學、東南大學、西安交通大學、大連理工大學、武漢理工大學、長春光機所、維普光電公司等項目參研單位的20余位代表參加此次會議。